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日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修

簡要描述:

日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修:愛發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,用于分析儀器以及半導體生產和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內應力能力,所以泵能提供更強的安全性。

所屬分類:日本愛發(fā)科

更新日期:2025-07-29

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日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修
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  日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修
 
  愛發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,用于分析儀器以及半導體生產和等離子清洗等潔凈制
 
  程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內應力能力,所以泵能
 
  提供更強的安全性。
 
  真空泵不良現(xiàn)象及原因分析
 
  1、不良現(xiàn)象:真空泵運行過載報警。
 
  2、原因分析:
 
  經對真空泵進行拆解, 發(fā)現(xiàn)以下幾個問題點:
 
  不良現(xiàn)象 原因分析
 
  (1)轉子軸套部磨損:
 
  因軸承磨損導致轉子下限,軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。
 
  (2)泵內齒輪箱內積碳:
 
  因泵軸承損壞,轉子軸套與端蓋中間磨擦導致高溫,齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。
 
  (3)軸承磨損:
 
  因軸承潤滑脂失效,軸承干性旋轉導致軸承滾珠在軸承內干磨。
 
  (4)軸封磨損:
 
  因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。
 
  (5)軸套磨損:
 
  因高溫運行,軸封密封部硬化,與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。
 
  從事真空泵行業(yè),主要銷售進口真空泵及配件,單級旋片真空泵,無油真空泵,
 
  干式螺桿泵,羅茨真空泵,真空泵油,真空泵過濾器,真空泵葉片/碳片,真空泵維修包及保養(yǎng)包,提
 
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  保養(yǎng)維修:為客戶提供長期真空泵技術咨詢與指導,綜合維修保養(yǎng)、部件維修保養(yǎng)、預防性維修保
 
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